1、加熱蒸汽流向：加熱蒸汽由蒸發器進汽口進入并分流給預熱器，然后相變后由蒸發器、預熱器的一次凝結水出口排出。
２、料水（純水或去離子水）流向：進料水泵把去離子水輸送到機器經流量計，到預熱器預熱后進入蒸發器進行蒸發，產生的純汽由純蒸汽出口進入儲汽罐后輸出，沒有蒸發的水由濃水口排出。
3、熱源蒸汽進入蒸發殼程，加熱管內的去離子水進入經過流量計進入預熱器進行預熱，預熱器的加熱源來自主蒸汽分流給預熱器的加熱蒸汽，一次性預熱125℃以上，預熱后的汽水混合體進入蒸發器的管程與殼程的蒸汽進行熱交換。
4、去離子水在蒸發器內經過蒸發后，經由汽水分離器分離，純汽進入儲汽罐，沒有蒸發和分離出來的水由濃縮水出口排出，純蒸汽輸出口進入管道。
5、純蒸汽發生器，設置取樣口，以便隨時取樣化驗。
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