1、所匹配的真空泵抽氣量過大，所抽走的大部份是水蒸汽；
2、水汽凝結器的凝結表面積過小，不足以捕捉完水蒸汽；
3、凝結表面的溫度太高(一般應在-50℃以下)使真空泵吸氣口處的壓力和水蒸汽分壓力過高；
4、水汽凝結器的結構不合理，如凝結阻力過大，即使凝結表面溫度“很低”（如-50℃以下），凝結器內壓力仍然會“很高”；而水汽如從凝結器入口走的多為水蒸汽；
5、泵入口處選擇不當，泵入口應設在不凝性氣體聚集的地方，氣體而不是水蒸汽。
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