1、擱板冷卻速度：從+20℃降至-40℃，約60分鐘(空載時)，最低溫度：-60℃
2、擱板加熱：升溫速度，從-20℃升至+40℃約60分鐘(空載)，最高溫度 +70℃
3、擱板溫差： ±1℃以內 (平衡時)
4、擱板平整度： ±0.5mm/m
5、冷凝器冷卻速度：從+20℃降至-40℃ 約30分鐘，最低溫度：-75℃
6、初期抽氣速率（空載）: 大氣壓抽至10Pa 30分鐘以內
7、極限真空度（空載）: 1Pa以下
8、真空泄漏率（空箱體）： 5×10-2mbar.L/s
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