如圖，舉例一個典型真空系統原理圖，主要包含：1. 真空室2. 電離真空規3. 熱偶真空規4. 放氣閥5. 高真空閥6. 冷阱7. 擴散泵8. 前級真空閥9. 電磁放氣閥10. 機械真空泵11. 預抽閥
凍干機的真空系統作用是對凍干箱體及冷阱抽真空。凍干時使用的真空度范圍大約為5X10^(-1)~1X10^(-3)托之間，要求在半小時左右達到所要求的真空度。
單位換算：1[mmHg]=133.3[Pa]=1.316x10^(-3)[標準大氣壓]
1[mbar]=100[Pa]=0.75[托]=9.87x10^(-4)[標準氣壓]
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